三星电子蚀刻工艺配方泄露至泛林半导体韩国分公司

三星电子的半导体蚀刻工艺配方被泄露至美国半导体设备厂商泛林半导体的韩国业务部门。三星电子于今年下半年察觉该事件，发现泛林韩国分公司通过不合规申请多次发生未授权的数据传输行为。工艺配方记录着设备温度、压力、气体流量、处理时长等生产条件参数，属于承载半导体厂商独有工艺的核心技术资料。