IT之家·2026-10-09 16:53· 16 天前AI 评分65

华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M

华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

AI 导读

华洋精机携手蔡司推出COSMA-M半导体测量设备，提供纳米级测量精度，稳定度达3σ＜3nm，应用于DUV掩膜、先进封装等领域。

来源：IT之家 · ithome.com

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