尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率 1.5μm、明年上市

尼康发布面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率为 1.5μm，每小时可处理 72 块面板，计划 2027 年 4 月上市。该设备是 DSP-100 的升级版本，处理能力提升 40%，套刻精度不超过 ±0.3μm，支持多种尺寸基板和晶圆，未来可通过更换光学系统升级至 1.0μm 分辨率。