朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%

朗道燧岩在 2026 年工博会上展示国产化率达 90% 的 EUV 光源系统样机，这是目前公开展示中国产进度最靠前的 EUV 光源样机。该系统可用于芯片曝光测试，距离量产仍需 3 至 5 年，当前面临提升输出功率和长期运行稳定性的挑战。