IT之家·2026-10-06 22:18· 19 天前AI 评分55Gigaphoton 推出 hTGM 氖气回收系统日本半导体光刻设备制造商 Gigaphoton 推出 hTGM 新型氖气回收系统，号称回收率达 50%AI 导读日本半导体光刻设备制造商 Gigaphoton 推出 hTGM 氖气回收系统，可实现 50% 氖气回收率，有望弥补俄乌冲突后的芯片供应链缺口。来源：IT之家 · ithome.com机器人产业#供应链查看事件全部后续