IT之家·2026-10-22 15:54· 3 天前AI 评分75浙大团队国内首发硅-28硅烷特气与外延片浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片:化学纯度达 99.99998%,填补国内相关材料空白AI 导读浙江大学团队在国内首次发布硅-28硅烷特气与4英寸硅-28外延片,硅-28丰度达99.99576%,化学纯度99.99998%,填补了国内硅基量子芯片衬底材料空白。来源:IT之家 · ithome.com机器人产业行业动态#行业动态#供应链查看事件全部后续